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【多选题】

二氧化硅膜的质量要求有（）。

A、薄膜表面无斑点

B、薄膜中的带电离子含量符合要求

C、薄膜表面无针孔

D、薄膜的厚度达到规定指标

E、薄膜厚度均匀，结构致密

题目答案

答案解析

略

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