题库网

【多选题】

硅外延生长工艺包括（）。

A、衬底制备

B、原位HCl腐蚀

C、生长温度，生长压力，生长速度

D、尾气的处理

题目答案

答案解析

略

Copyright © 2021 题库网浙ICP备2024091676号