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油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。
【多选题】
油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。
A、
防止扩散油分子回流到真空室
B、
加快排氣速度
C、
防止杂物掉入扩散泵
D、
提高膜层附着力
题目答案
答案解析
略
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