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有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法?
【简答题】
有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法?
题目答案
常压化学气相淀积(APCVD.,
低压化学气相淀积(LPCVD.,
等离子体辅助CVD。
答案解析
略
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