【多选题】

一般来说,溅射镀膜的过程包括()这几步。

A、 产生一个离子并导向靶

B、 被轰击的原子向硅晶片运动

C、 离子把靶上的原子轰出来

D、 经过加速电场加速

E、 原子在硅晶片表面凝结


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