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在生产过程中必须使用()来完成浅沟槽隔离STI。
【单选题】
在生产过程中必须使用()来完成浅沟槽隔离STI。
A、
单晶硅刻蚀
B、
多晶硅刻蚀
C、
二氧化硅刻蚀
D、
氮化硅刻蚀
题目答案
答案解析
略
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