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[单选题] 光刻工艺是利用感光胶感光后抗腐蚀的特性在半导体晶片表面的掩膜层上的工艺（）

[判断题] 片状源扩散具有设备简单，操作方便，晶片缺陷少，均匀性、重复性和表面质量都较好，适于批量生产，应用越来越普遍。（）

[填空题] 如果热压楔形键合小于引线直径1．5倍或大于3．0倍，其长度小于1．5倍或大于6．0倍，判引线键合（）。

[简答题] 对于大尺寸的MOS管版图设计，适合采用什么样的版图结构？简述原因。

[单选题] 恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布？（）

[单选题] 离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。

[简答题] 单晶片切割的质量要求有哪些？

[简答题] 下图为一个典型的离子注入系统。（1）给出1~6数字标识部分的名称，简述其作用。（2）阐述部件2的工作原理。

[判断题] 退火处理能使金丝和硅铝丝的抗断强度下降。（）

[填空题] 微波混合集成电路是指工作频率从300MHz～100kMHz的混合集成电路，可分为分布参数微波混合集成电路和（）微波混合集成电路两类。

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