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[填空题] 杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂，但主要可分为（）扩散和（）扩散两种。

[判断题] 场效应晶体管的栅源电压变化可以控制漏电流变化。（）

[单选题] 恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。

[简答题] 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

[判断题] 位错就是由范性形变造成的，它可以使晶体内的一原子或离子脱离规则的周期排列而位移一段距离，位移区与非位移区交界处必有原子的错位，这样产生线缺陷称为位错。（）

[简答题] 有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？

[简答题] 什么叫晶体缺陷？

[判断题] 晶体的特点是在各不同晶向上的物理性能、机械性能、化学性能都相同。（）

[简答题] 下图是硅烷反应淀积多晶硅的过程，写出发生反应的方程式，并简述其中1～5各步的含义。

[填空题] 延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。

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